半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)氮氧化物的有機(jī)廢氣處理

半導(dǎo)體是指在常溫狀態(tài)導(dǎo)電性能處于電導(dǎo)體與導(dǎo)電體中間的原材料，半導(dǎo)體在生產(chǎn)的過程當(dāng)中會(huì)產(chǎn)生一種氮氧化物的有機(jī)廢氣，今日了解一下有關(guān)半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)氮氧化物的有機(jī)廢氣處理。

氮氧化物分成一氧化二氮(N2O)、一氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)、三氧化二氮(N2O3)、四氧化二氮(N2O4)和五空氣氧化二氮(N2O5)等，氮化合物遇光、濕或熱變?yōu)槎趸耙谎趸?，一氧化氮又變成二氧化氮，不一樣價(jià)位氮化合物毒副作用不一樣。

比較常見的半導(dǎo)體原料有硅、鍺、氮化鎵等，制造廠在生產(chǎn)階段的主要污染物有一氧化氮、一氧化二氮、二氧化氮、三氧化二氮、四氧化二氮和五空氣氧化二氮、HF等。

半導(dǎo)體氮氧化物有機(jī)廢氣所采用的點(diǎn)燃控制系統(tǒng)、脫硫裝置技術(shù)和爐膛內(nèi)噴涌吸附劑，工業(yè)有機(jī)廢氣處理的NOx一般采用全過程后處理工藝，去除技術(shù)性又分干法和干法兩種，干法包含催化氫化鋁鋰、催化分解法、吸附法等，干法包含催化氫化鋁鋰、催化分解法、吸附法。

濕式于干法對(duì)比，所采用的污水處理工藝簡(jiǎn)易、吸附劑品種多、實(shí)際操作花費(fèi)便宜、適應(yīng)能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。